半導体製造においては洗浄などの工程で大量の水（超純水）を使用するほか、製造設備の冷却などにも多くの水を使用しており、お客様にとって水使用量の削減は重要な取り組みテーマとなっています。クリタグループは、半導体製造工程で発生する排⽔を回収・再利⽤する「CORR™ユースカジノ 登録」を活用した「再⽣⽔供給サービス」を提案し、お客様の上水使用量の削減に貢献しました。

工場の排水は、通常、排水処理装置により周辺環境に影響を与えない水質まで浄化し、下水道や河川に放流されています。この排水を「ユースカジノ 登録」として再利用することができれば、上水使用量を大幅に削減することが可能となります。しかしながら、工場排水は水質の負荷が高く、水質の変動幅も大きいことから、排水回収装置を構成するユニットや使用する薬品種が多くなり、安定運転するための運転管理の手間削減、またイニシャルコストとランニングコストを低減することが導入を検討するお客様の課題となっていました。

クリタグループが提供する標準型排水回収ユースカジノ 登録である「CORRユースカジノ 登録」は、水処理薬品および水処理装置双方の技術を組み合わせた、前処理装置と脱塩装置から成るシンプルな構造と、独自の水処理薬品の活用により、安定した排水回収を実現しました。
「再生水供給サービス」は「CORRユースカジノ 登録」を当社資産としてお客様の工場敷地内に設置し、運転管理からメンテナンスまでを一括で請け負うことにより、お客様が求める水量・水質の「再生水」を月々定額で提供するサービスです。
本サービスの適⽤にあたり、お客様と協働して回収可能な排⽔の排出元と量・質を調査するとともに、再⽣⽔の⽔質に応じた再利用先を選定しました。また、再⽣⽔を冷却塔の補給⽔としても使⽤するために、遠隔監視ユースカジノ 登録「S.sensing™ Opti」による冷却⽔の⽔質管理もサービスの一部として適用しました。その結果、⼯場内で使⽤する⽔の利⽤効率が⾼まり、上⽔使用量の約40%、下⽔放流量の約30%の削減が見込まれています。